28.06.2021 – Kategorie: Komponenten & Systeme

Kleinstoßdämpfer nach Maß beim Handling für Schutz in allen Lagen

Kleinstoßdämpfer nach Maß beim Handling für Schutz in allen LagenQuelle: ACE Stoßdämpfer GmbH
Die Strukturverkleinerung in der Halbleiterindustrie führt zu kompakteren, effizienteren, schnelleren und günstiger produzierten integrierten Schaltkreisen. Damit steigen die Anforderungen an die Handling-Systeme, die für den sauberen, sicheren Transport der Wafer…

Besonderes Augenmerk bei den Tests der Kleinstoßdämpfer legen die Ingenieure auf die Erfüllung der vorgegebenen Werte im Falle einer Havarie, bei der die Maschinenelemente die Massenkräfte in der Endlage jeder der simulierten Achsen augenblicklich vollständig zu absorbieren haben.

Robuste, mechanische, stromunabhängige Maschinenelemente

Die Fotolithografie ist eine Schlüsseltechnologie bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen und Schaltkreisen sowie bei der Fertigung von Mikrosystemen. Dabei wird ein Strukturmuster von einer Fotomaske in eine fotostrukturierbare, lichtempfindliche, dünne Schicht aus Fotolack auf einen Wafer übertragen. Für deren einwandfreie Fertigung verwenden Konstrukteure zum einen höchste Sorgfalt auf die Programmierung der automatisierten Prozesse und zum anderen auf die Überwachung der Abläufe. Aufgrund der hohen Nachfrage nach Mikroprozessoren und Speicherchips, und weil Ausfallsicherheit bei der Wafer-Produktion das A und O ist, arbeiten viele Chip-Hersteller auch im Bereich der Handling-Systeme mit firmeneigenen Zulieferunternehmen. Diese können ohne zu hohes Risiko in die sensiblen Fertigungsprozesse eingeweiht werden und statten ihre Konstruktionen meist mit hochwertigen und bewährten Standardkomponenten für Antriebe, Steuerung und Linearachsen aus.

Um letztgenannte durch robuste, mechanische, stromunabhängige Maschinenelemente, die auch in Reinräumen genutzt werden können, bestmöglich zu sichern, kommt es zu Kooperationen mit der ACE Stoßdämpfer GmbH. Ein weiterer wesentlicher Grund für die Zusammenarbeit besteht darin, dass das Unternehmen aus Langenfeld neben einer großen Vielfalt an Standardprodukten auch kundenspezifische Lösungen bietet. Diese werden von einem erfahrenen Team den Erfordernissen der Halbleiterhersteller genau angepasst und dafür vorab präzise ausgelegt sowie vor Ort im Prüflabor getestet. Auf diese Weise stellt ACE gemeinsam mit den Kunden sicher, dass alle Produktionsachsen wirksam geschützt sind, um Schäden in den Endlagen beim Handling auszuschließen.

Kleinstoßdämpfer: Ganze Arbeit bei den Simulationen

Wie der Firmenname verrät, liegt eine der Stärken von ACE in der Stoßdämpfungstechnik. Der ursprünglich aus den USA stammende Hersteller hat vor fast 60 Jahren als Erster einstellbare Industriestoßdämpfer auf den Markt gebracht. Das seit 2016 zur Stabilus-Gruppe gehörende Unternehmen bietet Konstrukteuren zudem auch Komponenten wie Industriegasfedern, Rotationsbremsen, Klemmelemente sowie zahlreiche weitere Lösungen unter anderem zur Entkopplung von Schwingungen an. Dabei sind die Klein- und Industriestoßdämpfer ebenso wie die Sicherheitsstoßdämpfer zentrale Geschäftsbereiche von ACE geblieben. Das damit verbundene einzigartige Know-how konnte durch die Entwicklungsingenieure in den USA und in Europa über die Jahre immer weiter ausgebaut werden, sodass es auch im nachfolgend skizzierten Einsatzfall zu den vom Kunden gewünschten Ergebnissen führt.

Für die Chip-Produktion werden bei der betreffenden Applikation hochpräzise, reibungsfreie Achsen in dem Handling-System verbaut. Die X- und Y-Achse dürfen laut Hersteller im Crash-Fall ebenso wie die Center-Pole-Achse (CP) nur mit maximal zulässigen Kräften belastet werden, um zu 100 Prozent sicher zu stellen, dass die Gesamtanlage nicht beschädigt wird. Entsprechend waren bei dieser Applikation die Achsen mit drei verschiedenen Typen aus der Kleinstoßdämpferpalette von ACE auszurüsten. Dabei kommen für die Y-Achse vier Kleinstoßdämpfer mit Gewinde M20 zur Anwendung, für die X-Achse ebenfalls vier, allerdings mit Gewinde M18, und zwei für die CP-Achse, die Gewindegrößen von M25 aufweisen.

Kleinstoßdämpfer
Bild: ACE Stoßdämpfer GmbH

Kleinstoßdämpfer sorgen für Schutz in allen Lagen

Im ersten Schritt ermittelte ACE zusammen mit dem Kunden für jede der drei Achsen den passenden Dämpfertyp, der den genauen Spezifikationen zu entsprechen hatte, die seitens des Kunden genannt wurden. Zusätzlich wurde den Ingenieuren von ACE die maximal tolerierte Stützkraft im Crash-Fall vorgegeben. Im Fall der Y-Achse waren es beispielsweise die folgenden Parameter, die jeweils auf einen Dämpfer heruntergebrochen wurden: Masse, m = 95,85 kg und Geschwindigkeit, v = 1,08 m/s, damit einer kinetischen Energie von 55,90 Nm entsprechend. Die maximal erlaubte Stützkraft für diese Achse betrug 5.700 Nm. Auf Basis dieser Angaben wurde darauf in der Entwicklungsabteilung in einem zweiten Schritt das Bohrbild für den bei den genannten Massekräften und der Geschwindigkeit des elektrischen Antriebs in Frage kommenden Kleinstoßdämpfertyp entsprechend simuliert.

Bild: ACE Stoßdämpfer GmbH

Wie die Abbildung zeigt, gelang es, Energie und Geschwindigkeit gleichmäßig über den gesamten Hub von 14 mm zu verzögern und dabei die maximale Stützkraft auf einen Wert von 5.300 N herunterzubringen. Die vorgegebenen Werte für den bestmöglichen Schutz der beiden anderen Achsen durch mechanische Komponenten konnte ACE ebenfalls erfüllen. In einem dritten und letzten Schritt wurden die maßgeschneidert gefertigten Kleinstoßdämpfer nach ausgiebigen Tests von entsprechend ausgelegten Exemplaren an den Hightech-Kunden ausgeliefert. Dort sorgen die zehn Kleinstoßdämpfer von ACE seitdem zuverlässig für Schutz in allen Lagen.

Tuning für nahezu jede Konstruktion

Die drei verschiedenen Komponenten mit Gewinden in den Größen von M18 bis M25 der hier geschilderten Applikation stehen exemplarisch für die zehn Produktfamilien im Bereich der Kleinstoßdämpfer bei ACE. Dazu gehören zum Beispiel auch Dämpfungs- und Bremselemente aus Edelstahl, die neben den strengen Anforderungen in der Halbleitertechnologie auch die Hygienevorschriften in der Medizintechnik oder Lebensmittelindustrie erfüllen. Bedenkt man, dass jede Stoßdämpferfamilie aus mehreren Typen besteht, die so gut wie alle Kraftbereiche von Handling- und Automatisierungsaufgaben abdecken, erklärt sich, warum ACE weltweit erfolgreich in Millionen von industriellen Konstruktionen vertreten ist. Die Komponenten optimieren Maschinen auf so zuverlässige wie effektive Weise, indem sie Massen schnell und zerstörungsfrei bremsen.

Bestimmte Modelle der kompakten, wartungsfreien, hydraulischen Maschinenelemente arbeiten bei Bedarf auch direkt im Pneumatikzylinder. Sie senken die Belastung dort ebenso gut wie beim Einsatz in Miniaturschlitten, in Handhabungsgeräten und in vielen anderen industriellen Anwendungen. Für hohe Standzeiten sorgen unter anderem die neuartigen Dichtungstechniken und die aus hochfestem, legiertem Stahl, massiv und topfförmig aus dem vollen Material gefertigten Stoßdämpferkörper mitsamt Hochdruckhülsen. Neben reichlich Zubehör, wie etwa Bolzenvorlagerungen, bietet ACE auch Sondergewinde, Sonderhübe und Sonderausführungen, die ebenfalls Schutz in allen Lagen bieten.

Kleinstoßdämpfer
Bild: ACE Stoßdämpfer GmbH

Elemente für die Dämpfungstechnik

Neben den hier exemplarisch aufgeführten Kleinstoßdämpfern gibt es im Unternehmensbereich der Dämpfungstechnik von ACE zahlreiche weitere Typen aus der Familie der Industriestoßdämpfer für größere Aufgaben. Zudem ist das Unternehmen auch im Feld der Festkörperdämpfer mit hochwertigen und neuartigen Lösungen vertreten, wie die Strukturdämpfer der Tubus-Serien zeigen. Dies gilt ebenfalls für Stoßdämpfungsplatten und Paletten-Stopper. Der gemeinsame Nenner für die Lösungen: Mit ihnen wird kinetische Energie in Wärme gewandelt, und die Bewegungen von Massenkräften werden je nach Anwendung optimal verzögert und abgebaut. Dadurch können Konstrukteure Maschinen schneller, leiser, langlebiger, leichter, preiswerter und somit wettbewerbsfähiger sowie profitabler machen.

Von Robert Timmerberg.


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