Die Strukturverkleinerung in der Halbleiterindustrie führt zu kompakteren, effizienteren, schnelleren und günstiger produzierten integrierten Schaltkreisen. Damit steigen die Anforderungen an die Handling-Systeme, die für den sauberen, sicheren Transport der Wafer zuständig sind. Welche Rolle Kleinstoßdämpfertypen von ACE dabei spielen, wird vorab in Simulationen und am Prüfstand ermittelt.
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